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电容耦合等离子体处理装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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电容耦合等离子体处理装置.pdf

    本公开提供一种电容耦合等离子体处理装置，包括壳体、第一电极、第二电极、第一射频偏压源和第二射频偏压源，壳体具有容置腔，第一电极和第二电极均位于容置腔中且至少部分相对设置，待处理件位于第一电极朝向第二电极的一侧；第一射频偏压源与第一电极电连接，第二射频偏压源与第二电极电连接，第一射频偏压源和第二射频偏压源的频率相等，且间隔半个周期。第二射频偏压源可以阻碍电子朝向第二电极运动，阻碍第二电极附近的电子鞘的形成，以降低电子鞘对阳离子的吸引，提高阳离子朝向第一电极的运动速度。因此，本公开提供的电容耦合等离

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116053109 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310275919.0 (22)申请日 2023.03.16 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 23

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