下表面刷、刷基座及衬底清洗装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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下表面刷、刷基座及衬底清洗装置.pdf

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本发明涉及一种下表面刷、刷基座及衬底清洗装置。下表面刷具备基台部、第1清洗部及第2清洗部。第1清洗部从基台部的上表面朝上方突出，且以俯视时通过基台部的几何中心在一个方向延伸的方式，设置在基台部的上表面。第2清洗部从基台部的上表面朝上方突出，且以沿基台部的外缘的方式，设置在基台部的上表面。或者，一对或多对第2清洗部也可从基台部的上表面朝上方突出，且以隔着第1清洗部对向的方式，设置在基台部的上表面。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551291 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111409730.3 (22)申请日 2021.11.25 (30)优先权数据