原创力文档- 0
- 0
- 约2.36万字
- 约 28页
- 2023-05-10 发布于四川
- 举报
本发明公开一种能够更换消耗品的基板处理装置，是一种维持基板处理装置的腔室工艺环境的同时，能够更换喷头、聚焦环等消耗品的支持方案。根据本发明的能够更换消耗品的基板处理装置包括：工艺腔室，设有执行基板处理工艺的处理空间；升降部件，配置在所述工艺腔室中并在所述处理空间内支承消耗品的同时使所述消耗品升降；门单元，设置在所述工艺腔室的一侧壁面，并随着开闭选择性地提供连接到所述处理空间的通道；以及运输单元，通过所述门单元的通道运输消耗品。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116072496 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202211241499.6
(22)申请日 2022.10.11
(30)优先权数据
10-2021-0147977
您可能关注的文档
- 一种核电厂柴油发电机组卸载指令生成装置及生成方法.pdf
- 一种机械式冷藏集装箱智慧柴电混合电力包及控制方法.pdf
- 一种用于农业温室大棚光伏发电的供暖系统.pdf
- 一种基于干簧管的阀门位置指示器、控制方法及控制系统.pdf
- 一种大直径小转弯TBM新型喷混结构.pdf
- 手动阀门动作试验执行机构、及其安装方法、控制方法.pdf
- 活检收集系统及活检收集方法.pdf
- 带电粒子束装置.pdf
- 一种反馈式摇杆.pdf
- 一种速冻食品加工用的连续真空包装压平装置.pdf
- 2026年河南省新乡市高考数学模拟试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省郑州市第二高级中学等校高考数学考前质检试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省郑州市外国语学校高考数学一模试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省华大新高考联盟高考数学联考试卷（5月份）+答案解析.pdf
- 2026年河南省华大新高考联盟高考数学模拟试卷（4月份）+答案解析.pdf
- 穿行测试（参考模板）(2)(1).pptx
- 2025-2026学年福建省厦门三中高三（下）学情调研数学试卷（4月份）+答案解析.pdf
- 2025-2026学年广东省广州市越秀区执信中学高三（下）段考数学试卷（5月份）+答案解析.pdf
- 2025-2026学年吉林省长春市吉大附中实验学校高三（下）期中数学试卷+答案解析.pdf
- 2026年海南省海口市琼山中学高考数学模拟试卷（二）（5月份）+答案解析.pdf
最近下载
- 陕西榆林市提高农业机械化水平促进农业可持续发展.docx
- 常见的中科院深圳先进技术研究院.ppt
- 《鲁迅与新兴木刻》教学课件-2024-2025学年浙人美版（2024）初中美术七年级上册.pptx VIP
- 【固定动火区设置】6-固定动火区责任标识牌.pdf VIP
- 强化学习(多)智能体 和 大语言模型(多)智能体.pdf VIP
- 商务英语(北京交通大学)中国大学MOOC慕课章节测验答案(课程ID：1205722812).pdf VIP
- 体位摆放和转移训练课件.ppt VIP
- 10 爬山虎的脚 第2课时 统编版语文四年级上册 课件.ppt VIP
- 关于郑州的记忆-弹唱谱（易上手）钢琴谱钢琴简谱 数字谱 钢琴双手简谱.pdf VIP
- 阿海珐GL314断路器检修维护导则.doc VIP
文档评论（0）