包括数位线触点的半导体装置及相关系统和方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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包括数位线触点的半导体装置及相关系统和方法.pdf

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本申请涉及包括数位线触点的半导体装置以及相关系统和方法。一种半导体装置包括在其上具有相应字线帽盖的横向相邻字线、介于所述横向相邻字线与字线帽盖之间的有源区、邻近所述字线帽盖的绝缘材料和半导体材料、以及介于所述半导电材料的相对的基本上竖直的表面之间、所述绝缘材料的相对的基本上竖直的表面之间、邻近所述字线帽盖的基本上水平的表面以及所述字线帽盖的相对的基本上竖直的表面之间的数位线触点。在所述相应字线帽盖的所述基本上水平的表面与所述基本上竖直的表面之间延伸并且连接所述基本上水平的表面与所述基本上竖直的表

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111508958 A (43)申请公布日 2020.08.07 (21)申请号 20191