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鳍式场效应晶体管结构及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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鳍式场效应晶体管结构及其制造方法.pdf

    本发明实施例公开一种鳍式场效应晶体管，其包括衬底、至少一个栅极堆叠件和外延材料部分。所述衬底具有鳍和位于鳍之间的绝缘体，所述鳍包含沟道部分和位于所述沟道部分旁边的侧翼部分。所述至少一个栅极堆叠件设置在绝缘体和鳍的沟道部分的上方。所述外延材料部分设置于鳍的侧翼部分的上方和至少一个栅极堆叠件的两侧。设置在所述鳍的侧面上的所述外延材料部分互相隔离。本发明实施例涉及鳍式场效应晶体管结构及其制造方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107170823 A (43)申请公布日 2017.09.15 (21)申请号 20161

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