半导体器件及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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本公开涉及半导体器件及方法。在一个实施例中,一种器件包括:沟道区域;栅极电介质层,位于沟道区域上;第一功函数调整层,位于栅极电介质层上,第一功函数调整层包括n型功函数金属;阻挡层,位于第一功函数调整层上;第二功函数调整层,位于阻挡层上,第二功函数调整层包括p型功函数金属,该p型功函数金属与n型功函数金属不同;以及填充层,位于第二功函数调整层上。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520229 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202110460017.5 (22)申请日 2021.04.27 (30)优先权数据 63/137,326 2021

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