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铝钛合金声波装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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铝钛合金声波装置.pdf

    铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本发明能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116073787 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202111285870.4 (22)申请日 2021.11.03 (71)申请人 深圳市中金岭南鑫越新材料有限公

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