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- 2023-05-10 发布于四川
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本申请提供一种太阳能电池的监测方法,包括选取测试片,在所述测试片的表面制备掺杂多晶硅层,所述掺杂多晶硅层与测试片的掺杂类型一致;再采用四探针法测得测试片的方阻Rtotal,结合所述测试片的自身方阻RSi计算得到所述掺杂多晶硅层的方阻Rpoly‑Si。本申请采用四探针法对掺杂多晶硅层的方阻进行测试,现场反馈更为及时;并通过选取合适的测试片对掺杂多晶硅层的掺杂浓度与制备工艺进行监测,避免硅片自身电阻率分布不均影响测试结果,能够有效提高测试准确性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114520155 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011291413.1
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
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