用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.54万字
约 20页
2023-05-10 发布于北京
举报
版权申诉

用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法.pdf

1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种照明系统，其包含经配置以收容气体的气体收容容器。所述照明系统还包含经配置以产生一或多个泵浦光束的一或多个泵浦源。所述照明系统包含臭氧产生单元，其包含一或多个照明源。所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧(O2)的一部分转换为三原子氧(O3)的能量的照明光束，一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114514596 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202080070435.7 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限