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半导体基盘装置及具有其的半导体真空过渡室.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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半导体基盘装置及具有其的半导体真空过渡室.pdf

    本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种半导体基盘装置及具有其的半导体真空过渡室，半导体基盘装置包括：基盘，基盘上设置有放置晶圆的晶圆盒；联轴机构，联轴机构包括设置于基盘的底部的联轴器和锁紧组件，联轴器的底部设置有防呆槽；支撑轴，支撑轴的顶部设置有与防呆槽配合的防呆凸起，基盘通过联轴器上的防呆槽安装至支撑轴的防呆凸起上，并通过锁紧组件锁紧联轴器与支撑轴。根据本申请的半导体基盘装置，通过在基盘的底部设置联轴机构，不仅能够达到快速拆装基盘与支撑轴的目的，还能够减少基盘与支撑轴的装配过程中出现错位或

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520173 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011303570.X (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 10

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