一种OVD沉积工艺的生产系统及OVD沉积工艺.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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一种OVD沉积工艺的生产系统及OVD沉积工艺.pdf

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本申请涉及一种OVD沉积工艺的生产系统及OVD沉积工艺，光棒夹持装置组设于反应腔室内，并用于对芯棒进行夹持、旋转以及驱使芯棒在水平方向上做往复直线运动；多喷灯沉积设备组设于反应腔室内，且其沉积区域至少部分覆盖于芯棒；喷灯补料设备可移动地组设于反应腔室内，且其沉积区域至少部分覆盖于芯棒；测径装置可移动地组设于反应腔室内，并用于检测芯棒的外径；控制装置与光棒夹持装置、多喷灯沉积设备、喷灯补料设备和测径装置相连接，并用于控制光棒夹持装置、多喷灯沉积设备工作，以及根据测量的外径与设定外径分布标准曲线，控

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114507006 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210198810.7 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人武汉烽火锐拓科技有限公司地址 4