一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构.pdf

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本发明公开了一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板、内固定架和外固定架，所述置物板的顶部左端固定设有定夹板，所述定夹板的右端设有动夹板，所述推杆的右端连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置固定设于所述置物板的顶部右端，所述第一底板的顶部中间设有气缸，所述气缸的顶部连接有气压杆，所述气压杆的顶部固定设有支板，所述支板的顶部设有第一电机，所述第一电机的顶部连接有第一电机轴，所述外固定架设于所述内固定架的底部外端。该单晶硅的硅片加工多角度调试结构，便于自动化夹持单晶硅于定夹板之间，自动化控制旋转

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114523585 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202210162412.X (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人盐城工学院地址 224051 江