CS200A使用手册完整.docxVIP

REV. 2.2 CS 系列 200-A,C,D 型 气体质量流量控制器/质量流量计 使 用 手 册 目 录 第一部分 产品说明 3.2 控制方式.............................................. 18 1.1 声明................................................... 1 3.3 调零...................................................... 18 1.2 使用须知............................................ 2 3.4 软启动.................................................. 18 1.3 安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟...................................................... 19 1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制.................................................. 19 1.