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一种移动掩膜微细电解加工装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种移动掩膜微细电解加工装置及方法.pdf

    本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法，包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板；电极丝固定在电极帽上，电极帽通过螺纹联接固定在电极座上，电极座安装在支架上，支架固定在加工机床上，电极座可以在支架内上下滑动；掩膜板固定在电极座下端面，靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面，通过电解液进/出口完成电解液循环，排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工，通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便，解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114515874 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210307523.5 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人 燕山大学 地址 066004 河

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