金属膜蚀刻液组合物.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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金属膜蚀刻液组合物.pdf

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本发明涉及对用作TFT‑LCD显示器的电极的铜系金属膜选择性地进行蚀刻的蚀刻液组合物，根据本发明，可以提供用于蚀刻铜系金属膜的蚀刻液组合物，该蚀刻液组合物能够实现对铜系金属膜的选择性的蚀刻，通过容易的蚀刻速度的控制，可以提供具有目标图案的直线性和锥角的金属配线，实现稳定的蚀刻轮廓，从而不仅可实现高处理张数，而且对大面积处理有效。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114540815 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111407506.0 (22)申请日 2021.11.24 (30)优先权数据 10-2020-0159047