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一种扩散设备及其加热控制方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种扩散设备及其加热控制方法.pdf

    本公开提供一种扩散设备及其加热控制方法，该扩散设备包括：扩散炉体，用于放置待扩散加工的晶圆，扩散炉体内自上而下划分成多个加热区域；多个加热装置，用于给扩散炉体加热，依照扩散炉体的高度方向设置在扩散炉体的侧壁上，且加热装置与加热区域一一对应设置；多个监测装置，与多个加热装置一一对应设置，用于监测加热装置中加热电阻的阻值，并将加热电阻的阻值发送给报警装置；报警装置，用于将加热电阻的阻值与预设阻值进行比较，若比较结果符合预设条件则报警。本公开的扩散设备，通过对加热电阻的阻值进行监测，在品质事故发生前可

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520162 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011301161.6 (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 10

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