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一种去除刻蚀设备静电卡盘表面颗粒的装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种去除刻蚀设备静电卡盘表面颗粒的装置及方法.pdf

    本发明涉及一种去除刻蚀设备静电卡盘表面颗粒的装置及方法，属于半导体制造设备领域，解决了现有技术中现有半导体生产设备中，在刻蚀工艺微颗粒附着在静电卡盘表面，进而造成产品良品率下滑，预防性检修增多，停机时间增加，生产效率下滑的问题。本发明公开了一种去除刻蚀设备静电卡盘表面颗粒的装置，包括：气体供应装置、调节阀门、主供气管、支供气管和喷嘴组成；支供气管沿刻蚀腔内壁设置，连接主供气管和喷嘴；喷嘴的设置位置高于静电卡盘上表面；调节阀门用于调节气体的流量；气体供应装置供应吹扫气体。本发明的装置及方法实现了半

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520137 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011296811.2 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 10

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