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一种全无机晶体管型X射线探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种全无机晶体管型X射线探测器及其制备方法.pdf

    本发明提供一种全无机晶体管型X射线探测器及其制备方法。该探测器包括衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道半导体层、源电极和漏电极、X射线吸收层和保护层，其中，在所述X射线吸收层和所述沟道半导体层建立异质结，在X射线照射下，该异质结使所产生的电子‑空穴对分离，并使所述X射线吸收层产生的载流子注入到所述沟道半导体层。本发明无需设置顶电极，通过异质结界面将吸收层的非平衡载流子转移到沟道层中，可在低电压条件下工作，并且器件结构简单，易于制造。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520272 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011307089.8 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人 深圳先进技术研究院 地址 5180

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