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本发明涉及减振设备技术领域，提供一种减振结构及其制备方法，其中减振结构包括：基部，所述基部适于与芯片固定连接；振动梁，所述振动梁在延伸方向上包括至少一段回折梁，所述振动梁一端与所述基部连接，所述振动梁设置有多个，各所述振动梁以所述基部的重心中心对称排布；以及固定部，所述固定部与各所述振动梁一一对应固定，所述固定部适于与基底固定连接。本发明实施例中的减振结构满足实现小型化器件的减振需求，隔离来自载体的强烈振动和冲击，具有结构简单、易于生产、减振效果好和使用安全等优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114542652 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202011331830.4
(22)申请日 2020.11.24
(71)申请人 北京晨晶电子有限公司
地址 100
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