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2023-05-10 发布于北京
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本发明提供一种MEMS开关，其包括壳体、开关组件、第一致动电极、第一触点、第二致动电极、第二触点，第三致动电极和第四致动电极，当所述第一致动电极和所述第二致动电极之间不施加电压时，所述开关组件处于所述第一关闭状态并与所述第一触点接触。当所述第三致动电极和所述第四致动电极之间施加第一电压时，所述开关组件被驱动偏转，使所述开关组件处于所述打开状态，并与所述第一触点和所述第二触点间隔开。当所述第三致动电极和所述第四致动电极之间施加第二电压时，所述开关组件被驱动偏转，使所述开关组件处于所述第二关闭状态并

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551165 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111678336.X (22)申请日 2021.12.31 (30)优先权数据