一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法。该高纯四硼化硅粉末采用结晶度在40％‑60％之间的硼粉，选择硼粉和硅粉以3.2∶1‑4∶1的硼硅摩尔比例在气氛炉中高温反应合成，具体包括以下步骤：(1)将硅粉和硼粉按比例称重；(2)将硅粉和硼粉放入混料机中混合均匀；(3)将混合均匀的粉末装入刚玉坩埚中，并将坩埚放入气氛烧结炉中，使用高纯氩气对气氛炉炉腔进行清洗，直至炉腔内氧含量低于30ppm；(4)在氩气气氛保护下以5℃/min的速率升温至1280‑1350℃，保温2‑3h，以5℃/min的速度降温

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114538457 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202011366680.0 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人有研工程技术研究院有限公司地址