具有紧凑的有源区堆叠的多结VCSEL.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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具有紧凑的有源区堆叠的多结VCSEL.pdf

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本申请涉及具有紧凑的有源区堆叠的多结VCSEL。多结VCSEL由紧凑的结构形成，其通过减小用于形成多结器件的这种区域的堆叠中相邻有源区之间的间距来减小横向电流散布。堆叠内的至少两个有源区位于VCSEL的强度分布的相邻峰值，并且中间的隧道结被定位于两个峰值之间的低谷处。有源区与峰值的对齐使所生成的光功率最大化，而隧道结与低谷的对齐使光学损耗最小化。相邻峰值上的紧密间距形成了紧凑的结构(该紧凑的结构甚至可以包括一个具有在λ以下的光学长度的腔体)，这缩短了载流子行进的总路径，从而减少了横向电流散布。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114552381 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111335261.5 (22)申请日 2021.11.11 (30)优先权数据 16/951,020 2020