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一种提高FIB‑SEM三维重构过程中样品导电性的方法，包括以下步骤：在扫描电子显微镜模式下利用二次电子图像选择样品平坦的区域作为目标区域，利用聚焦离子束在目标区域刻蚀标记字样，并对目标区域进行Pt层沉积获得被Pt保护的目标区域；利用聚焦离子束对被Pt保护的目标区域进行粗切和细切后得到目标样品；利用纳米机械手与目标样品焊接在一起后对目标样品进行提取，再将目标样品焊接固定到金属导电网上；利用聚焦离子束切断纳米机械手与目标样品之间的焊接，获得导电性高的目标样品用于三维重构。该方法利用金属导电网的导电性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518378 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210043172.1
(22)申请日 2022.01.14
(71)申请人 中国矿业大学
地址 221000
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