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压电陶瓷芯片的制备方法、压电陶瓷芯片组件及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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压电陶瓷芯片的制备方法、压电陶瓷芯片组件及显示装置.pdf

    本发明提供一种压电陶瓷芯片的制备方法、压电陶瓷芯片组件及显示装置。制备方法包括：将在衬底上形成的压电陶瓷层和覆盖压电陶瓷层的底电极转移至一基板，在基板上形成具有开口的绝缘层，以使绝缘层能够覆盖压电陶瓷层和底电极的边缘，且开口能够暴露出压电陶瓷层；将基板浸入在底电极材料的刻蚀液内进行刻蚀；在绝缘层的开口内形成顶电极，使顶电极与绝缘层之间具有间隔。本发明制备方法对于绑定压电陶瓷层失败的芯片可以确保其不发生短路，避免损伤芯片，绑定成功的芯片能够形成完整的芯片结构，确保实现良好的触觉再现技术。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520287 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011296362.1 G06F 3/041 (2006.01) (22)申请日 2020.11.

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