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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明涉及一种电容压力传感器及其制备方法，包括：将基体衬底形成有绝缘介质层的一面与键合衬底键合，基体衬底与键合衬底之间未设置绝缘介质层的位置形成空腔结构；在基体衬底上形成与基体衬底电连接的第一电极，在键合衬底上形成与键合衬底电连接的第二电极；其中，基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板。本申请将基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板，处于第一极板和第二极板之间的空腔结构可充当电容压力传感器两个电极之间的电介质材料，与现有技术
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518186 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011301093.3
(22)申请日 2020.11.19
(71)申请人 无锡华润上华科技有
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