MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法.pdf

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本发明公开了一种MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法。传感器以硅晶片为基底，在硅晶片上部有二氧化硅层和氮化硅层，在二氧化硅层下部有金层；超小光纤镜头封装在陶瓷插芯内。本发明标定系统包括扫频激光器、宽带50/50熔融耦合器、环形器、标准声压计、MEMS光纤声振动传感器、扬声器、信号发生器、光纤准直器、平面反射镜、光电平衡探测器、数据采集卡、计算机。标定方法：将传感器和标准声压计同距离正对扬声器，通过调节信号发生器输入信号电压，发射声压大小不同的声音信号，标准声压计用于检测传

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114509149 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210082560.0 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人上海大学地址 200444 上海