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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明具体涉及一种半导体缺陷检测设备，所述半导体缺陷检测设备包括：第一光源发射器，所述第一光源发射器用于发射光束；光源分光镜，所述光源分光镜用于将所述第一光源发射器发射的光束分成至少两束光束，以使其中一束光束照射到晶圆的上表面且其余光束与所述其中一束光束的传播方向不同；至少两个第一光源折射镜，所述第一光源折射镜用于将所述其余光束折射到所述晶圆的侧面；信号接收器，所述信号接收器至少为两个，其中一个所述信号接收器用于接收所述晶圆的上表面的反射光源，其余所述信号接收器用于接收所述晶圆的侧面的反射光源。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518369 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011303686.3
(22)申请日 2020.11.19
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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