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一种低成本可量产的高纯碳化硅粉料的制备装置和制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种低成本可量产的高纯碳化硅粉料的制备装置和制备方法.pdf

    本发明提供了一种低成本可量产的高纯碳化硅粉料的制备装置，包括：坩埚，所述坩埚包括具有多孔结构的外层坩埚以及设置于所述外层坩埚内部的内层坩埚；开设于所述坩埚底部的、用于向坩埚内部通入氩气和氢气的石墨管。本发明提供的制备装置制备得到的碳化硅粉料粒径均一，纯度高，并且可以提高产品的产量。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114515561 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210241643.X (22)申请日 2022.03.11 (71)申请人 合肥世纪金光半导体有限公司 地址

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