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TC-SAW器件及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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TC-SAW器件及其制造方法.pdf

    本发明提供一种TC‑SAW器件，其包括：衬底层；形成在衬底层上的叉指电极；形成在叉指电极上的活塞部；连接叉指电极的汇流条；以及覆盖叉指电极、活塞部和汇流条的温度补偿层，其中，叉指电极包含作为真指的第1电极和作为假指的第2电极，第1电极和第2电极在垂直于汇流条的方向上隔开间隙相向地配置，在平行于汇流条的方向上隔开间隔交错地配置，由第1电极构成的第1电极组以及由第2电极构成的第2电极组在衬底层上分别构成叉指结构，活塞部形成在第1电极的末端，并且形成在汇流条的与第1电极相连接的部位处，位于同一汇流条上

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520641 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210166655.0 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 广东广纳芯科技有限公司 地址 51

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