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一种基于短脉冲激光的减材加工方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种基于短脉冲激光的减材加工方法.pdf

    本发明涉及一种基于短脉冲激光的减材加工方法，包括以下步骤：步骤1：首先短脉冲激光和指引光分别通过第一准直透镜组和第二准直透镜组进行准直处理；步骤2：通过二向色镜后进行合束，然后再通过聚焦透镜组射入匀光模组；步骤3：通过匀光模组后的光线再次通过第三准直透镜组；步骤4：准直光通过反射镜反射至第一分光片，反射至光掩模板上；步骤5：反射的光将带有光掩模板上的信息；步骤6：步骤5中将合束的带有信息的光通过第三分光片，将光束打至样品上，照射出光掩模板上的信息，实现特定区域和特定图形的减材；步骤7：最后反射到

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114515908 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011313644.8 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人 赫智科技(苏州)有限公司 地址 2

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