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一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统.pdf

    本发明提供一种基于声波的抛光垫沟槽检测方法及其检测系统。所述抛光垫沟槽检测方法包括：采用声波传输液发射单元对研磨区喷射声波传输液形成第一液柱；采用声波发射单元通过第一液柱对研磨区发射第一检测声波；采用声波接收单元接收研磨区的第一反馈声波；采用声波传输液发射单元对沟槽喷射声波传输液形成第二液柱；采用声波发射单元通过第二液柱对沟槽发射第二检测声波；采用声波接收单元接收沟槽的第二反馈声波；根据接收第一反馈声波和发射第一检测声波的时间差、以及接收第二反馈声波和发射第二检测声波的时间差、声波传输液对声波的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577152 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210189776.7 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 北京烁科精微电子装备有限公司 地址

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