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本公开提供了具有布拉格反射镜的外延片的制备方法，属于发光二极管技术领域。衬底上生长完包括n型层、有源层与p型层之后，再交替蒸镀多个SiO2折射层与Ti3O5折射层以得到布拉格反射镜。SiO2折射层的蒸镀速率为第一蒸镀速率以得到表面粗糙度为0.5～0.8nm的SiO2折射层，Ti3O5折射层的蒸镀速率为第二蒸镀速率以得到表面粗糙度为1.0～1.1nm的Ti3O5折射层；粗糙度合理，SiO2折射层与Ti3O5折射层的交界处会出现的颗粒物会减少，且SiO2折射层与Ti3O5折射层的交界处较为平整，粗糙
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114583032 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210054784.0
(22)申请日 2022.01.18
(71)申请人 华灿光电（浙江）有限
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