一种蓝宝石衬底自动缺陷检测分类的方法和系统.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种蓝宝石衬底自动缺陷检测分类的方法和系统.pdf

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本发明公开了一种蓝宝石衬底自动缺陷检测分类的方法和系统，涉及半导体缺陷检测技术领域，包括：基于图像采集设备采集位于参照基板上的蓝宝石衬底，以获取侧视蓝宝石衬底图像；针对侧视蓝宝石衬底图像进行缺陷初步分析，以获取若干幅缺陷蓝宝石衬底图像；提取若干幅缺陷蓝宝石衬底图像，并根据其通过图像采集设备采集位于参照基板上的若干幅俯视缺陷蓝宝石衬底图像；针对若干幅俯视缺陷蓝宝石衬底图像进行缺陷类型分析，以确定缺陷类型归属以及获取对应缺陷类型图像；本发明能对缺陷蓝宝石衬底进行高效筛选，为发现衬底加工过程问题和提高

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116091505 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310375880.X G06V 10/82 (2022.01)