掩模版预校准方法、系统、电子设备以及可读存储介质.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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本申请公开了一种掩模版预校准方法、系统、电子设备以及可读存储介质，应用于掩模版预校准系统，掩模版预校准系统包括：掩模版载具预校准装置、掩模台上版装置、曝光支撑装置、掩模版以及机械手臂装置，掩模版预校准方法包括：通过机械手臂装置将曝光支撑装置移动至掩模版载具预校准装置，在掩模版载具预校准装置上校准并固定曝光支撑装置；在固定已校准的曝光支撑装置后，通过机械手臂装置将掩模版置于曝光支撑装置上，校准掩模版，并将掩模版固定在已校准的曝光支撑装置上；通过机械手臂装置，将曝光支撑装置和掩模版共同移动至掩模台上

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116088283 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310387417.7 (22)申请日 2023.04.12 (71)申请人深圳市龙图光罩股份有限公司地址