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刻蚀终点检测方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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刻蚀终点检测方法及装置.pdf

    本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；根据刻蚀脉冲信号的下降沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定负向光谱积分数据；根据正向光谱积分数据和负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；根据目标光谱信号数据检测刻蚀终点。本发明可以有效过滤等离子体脉冲刻蚀中的背景噪声，实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582700 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210204493.5 (22)申请日 2022.03.02 (71)申请人 北京航空航天大学 地址 10019

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