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本发明公开了SiC功率模块门极漏电测试设备及其测试系统，涉及SiC功率模块测试技术领域，包括探针、SiC功率模块、同轴屏蔽线、多通道扫描矩阵继电器、数据采集单元、数据分析单元、电压检测单元、电流检测单元、过载保护单元、漏电警示单元和高精度数字源表，所述SiC功率模块用于对电源的电流和电压进行稳定处理，所述同轴屏蔽线用于屏蔽外界所有的电磁信号干扰，将外界空间的各种杂散信号被隔离在屏蔽层外，所述多通道扫描矩阵继电器用于对漏电测试系统中的多个线路的数据信息进行监测；使得本发明不仅可以对采集的数据信息分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116087738 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202310369665.9
(22)申请日 2023.04.10
(71)申请人 合肥中恒微半导体有限公司
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