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一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法.pdf

    本申请提供了一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法，该方法包括：控制快门打开；接收能量传感器采集到的能量值，基于能量值确定累计曝光剂量值；确定累计曝光剂量值是否不小于目标剂量值；若累计曝光剂量值不小于目标剂量值，则控制快门开始关闭；将快门完全关闭后的抖动延时结束时刻对应的累计曝光剂量值作为实际累计曝光剂量值；基于实际累计曝光剂量值，确定曝光剂量误差值；确定曝光剂量误差值是否满足要求；若曝光剂量误差值不满足要求，则更新等效剂量值，返回执行第一步；若曝光剂量误差值满足要求，将等效剂量值应用到曝光

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114578658 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210214784.2 (22)申请日 2022.03.07 (71)申请人 北京半导体专用设备研究所（中国

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