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热传导测量仪和测量气压的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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热传导测量仪和测量气压的方法.pdf

    本发明涉及热传导测量仪和测量气压的方法。热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577392 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210214855.9 G01L 9/02 (2006.01)

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