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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开一种CIS玻璃罩的制作方法,涉及CIS晶圆加工领域,具体包括S1、激光扫描:用激光发射器发射飞秒激光,在玻璃表面扫描出图形轮廓;S2、药水腐蚀:用药水按照轮廓腐蚀处对应的图形;S3、灌胶:在药水腐蚀后的图形内灌入高透光性胶水;S4、晶圆贴合:将晶圆沿着胶水贴合于玻璃表面;本发明使用激光工艺,替代传统的曝光显影工艺,先通过激光对玻璃表面进行扫描,在扫描到所需图形后,在图形表面用药水进行腐蚀,然后涂胶,贴合晶圆,大大降低了工艺难度,提升了良品率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582901 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210167563.4
(22)申请日 2022.02.23
(71)申请人 苏州轩创科技有限公司
地址 江苏省
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