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一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法.pdf

    本申请提供一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法，用于对OLED基板进行干燥，其中，所述喷墨打印真空干燥装置包括：干燥室；承载座，设置在所述干燥室内，用于固定待干燥的OLED基板；抽真空机构，包括设置于所述干燥室外的抽气主体以及与所述抽气主体连接并沿伸位于所述干燥室内的多个抽气管道；以及气流控制件，设置于所述干燥室内且包括多个气流控制罩，每个所述气流控制罩包括开口，所述气流控制罩正对所述OLED基板设置且所述开口朝向所述OLED基板，且每个所述气流控制罩连接一个所述抽气管道以通过所述抽气管道

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114571879 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210168288.8 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有

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