一种能够延长石英管使用寿命的石英管制造方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种能够延长石英管使用寿命的石英管制造方法.pdf

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本发明公开了一种能够延长石英管使用寿命的石英管制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将石英石烧烤后，研磨成石英颗粒；S2、将研磨好的石英颗粒投入连熔炉内通电熔融，融化后得到石英熔融料；S3、将石英熔融料投入拉管炉内进行拉管成型，获得石英母管；S4、清洗石英母管的内外管面的污垢，直至使其透明；S5、对清洗后的石英母管进行脱羟处理；S6、在脱羟后的石英母管的内壁上喷涂氮化硅溶液，形成一层氮化硅涂层；S7、将石英母管在高温熔炉中进行高温成型处理，自然冷却后获得成品石英管。采用本方法制得的石英管能够

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116081927 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310025513.7 (22)申请日 2023.01.09 (71)申请人江苏鑫亿鼎石英科技股份有限公司地