DATACON培训的课件资料.pptxVIP

DATACON培训的课件资料第1页/共41页第2页/共41页DATACON内容简介一.DATACON的简单介绍。二.机台的基本操作。三.机台常见报警的处理。四.DATACON的改机。五.机台的保养。第3页/共41页信号灯安全门操作面板显示器电源/启动开关操作键盘一.DATACON的简介 右图为我司FC03机器：DATACON 2200 evo实物照片第4页/共41页DATACON的简介1、外部按钮与状态牌Table号紧急开关Step按钮状态牌继续确认按钮不导胶标签取消按钮LED指示灯ESD按扣生产权限钥匙第5页/共41页DATACON的简介2、点胶头点胶头 点胶装置给产品点不导胶，由气管、胶管、点胶头、扫描相机构成，基板传进轨道后，Camera进行识别扫描对位，然后在预先设定的位置进行点胶。第6页/共41页DATACON的简介3、Pick up Placement tool PP tool装置安装在placement head上，它的作用是实现芯片的交换与贴装第7页/共41页DATACON的简介4、 Flip tool Flip tool由Flip arm和吸嘴组成，它的作用是从晶圆上拾取芯片，然后由Flip arm旋转90°或者180°，由PickPlace取走芯片。第8页/共41页DATACON的简介5、Ejection system 顶针装置的作用是从晶圆下方顶起芯片，让芯片半脱离晶圆的粘连，然后由flip tool进行吸取。第9页/共41页DATACON的简介6、wafer tableWafer table 为晶圆载台，固定和移动晶圆。第10页/共41页Datacon 芯片吸取吸嘴交换过程Filp tool 吸起芯片Flip tool翻转下压顶针抬起Filp tool翻转90° PP tool准备吸取PP tool吸取芯片Filp tool复位PP tool吸取芯片完成第11页/共41页二.DATACON的基本操作1.开机和关机。1）开机。依次打开压缩空气阀，机器主电源按钮，按下UPS启动开关 电源开关UPS开关防静电手链插孔启动按钮2）关机。选择菜单file→ shut down→ shut down，待到机台显示器无显示后,再关掉主电源开关和UPS关闭开关。第12页/共41页DATACON的基本操作2.生产界面。1.work area： 工作区域2.Title bar： 标题栏3.Status bar：状态栏 4.Task bar： 任务栏5.Menu bar： 菜单栏6.Standard symbol bar：标准工具栏7.(shift）buttons symbol bar：附加工具栏第13页/共41页DATACON的基本操作3.程序调用点击菜单file→load，或者工具栏“ ”图片进行程序掉用 1 — 驱动盘选择 2— 程序名输入 3 — 文件格式选择 4 — 文件路径 5 — 程序菜单第14页/共41页DATACON的基本操作4. Mapping的使用。 打开Mapping 服务器-ALPS软件点击import→选择需要的mapping文件→ 检查mapping文件是否正常→ 将mapping文件导入alps服务器。第15页/共41页DATACON的基本操作6.更换点胶头1)装前在低倍显微镜下检查点胶头部是否有缺损及清洗情况。2)使用无尘布和酒精擦拭螺纹，确认螺丝纹上无残留胶水。3)将点胶头使用固定螺丝固定紧，拧紧胶管螺丝。点胶头缺口位置对应第16页/共41页三.常见报警的处理1.抛料报警报警处理：该报警为PP tool连续出现抛料异常导致的报警，常为PP tool与Flip tool交换芯片位置偏移或Flip tool未吸取芯片导致的抛料报警。点OK可继续生产，点Cancel停止生产。 出现该报警时需要联系技术员查看抛料类型并作出维修，否则会导致芯片的浪费。2芯片识别报警报警处理：Component 扫描时会出现连续识别不过的情况，右图为出现该情况时的报警：识别错误颗数超过设定值，小字提示为当前芯片行数和列数及开始连续出现错误时的芯片行列坐标，对应mapping上芯片会显示白色，wafer camera显示芯片识别错误。点击OK在下次对位框点done，在坐标框出现时点OK即可。若仍有报警可以联系技术员处理。第17页/共41页常见报警的处理3.轨道搬运报警报警处理：该报警为轨道搬运错误，小字描述为基板无法从a系统的第b个皮带搬运到c系统的第d个皮带上。出现该报警时点击OK，可重新传送基板，基板传送失败会继续出现该报警。若连续3次尝试传送仍出现该报警，需联系技术员处理。 4.基板识别报警 报警处理：该报警为基板adjust point 识别偏移，出现该报警时点击YES尝试重新扫描，若仍出