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基于MEMS工艺微尺度流动换热高精度集成测试方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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基于MEMS工艺微尺度流动换热高精度集成测试方法.pdf

    基于MEMS工艺的微尺度流动换热高精度集成测试方法，包括：基于MEMS工艺的实验件加工；测试系统的集成；本发明通过玻璃激光打孔和硅晶圆的等离子体刻蚀技术，完成测压点的原位引出测量，避免了局部压力损失；利用金属电阻温度系数特性，通过电阻变化测量当前薄膜热电阻处的温度大小，将薄膜热电阻置于加热膜上方，使其更加贴近通道壁面，获得的温度数据更加准确；通过多层晶圆键合技术，将带测压孔的玻璃片、带微通道及测温热电阻的上硅片、带加热膜的下硅片进行分别依次进行多晶圆依次键合，保证微通道的密封性以及带金属薄膜硅表

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114572930 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210206942.X (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 北京航空航天大学 地址 10019

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