一种高纯砷的装料模具及其修复方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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一种高纯砷的装料模具及其修复方法.pdf

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本发明属于高纯砷生产领域，公开了一种高纯砷的装料模具及其修复方法，所述装料模具置于氢化还原炉内，所述装料模具主体为石英管，所述氢化还原炉内设置结料区和补长区，所述石英管包括设置在结料区的结料区石英管和设置在补长区的补长区石英管，结料区石英管设置为锥度为0.8~2°的锥形管状结构，结料区石英管直径较小的端部连接补长区石英管，所述结料区石英管的内壁设置高纯砷层；本发明的高纯砷的装料模具可重复利用，降低了经济成本，使用该模具可避免因石英管划伤崩口导致的产品中引入硅杂质元素的风险。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114538756 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210251083.6 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人广东先导微电子科技有限公司地址