一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置.pdf

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本申请涉及一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置，所述方法通过获取第一曲线和第二曲线；第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；第二曲线为根据质量差值以及第二附加物的腐蚀时间得到；获取探针的当前品质因数，并根据当前品质因数和第一曲线，得到当前质量差值；根据当前质量差值和第二曲线，得到第二附加物的目标腐蚀时间；根据目标腐蚀时间对第二附加物进行处理，得到目标探针。该方法通过多次腐蚀微调，使第二附加物的质量非常接近第一附加物，从而起到提高探针

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114545031 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210134118.8 (22)申请日 2022.02.14 (71)申请人中山大学地址 510300 广