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本发明公开一种共面带状线行波电极及硅基马赫曾德尔调制器,具有共面波导‑共面带状线的宽带过渡结构,所述共面带状线行波电极包括第一接地线、信号线、第二接地线;所述第一地极接入端、所述信号接入端、所述第二地极接入端、所述第一过渡段、所述第二过渡段、所述场耗散过渡段构成共面波导‑共面带状线的过渡结构;所述第一地极接入端、所述信号接入端、所述第二地极接入端构成的共面波导结构;本发明通过共面带状线行波电极结构的利用,使得依靠一组行波电极即可实现单端推挽驱动,减小了电极面积,适用于多个调制器的集成,提高了集成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112379538 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011290716.1
(22)申请日 2020.11.17
(71)申请人 中国电子科技集团公司第三十八研
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