基板传送机械手终端受动器.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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基板传送机械手终端受动器.pdf

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于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109727900 A (43)申请公布日 2019.05.07 (21)申请号 20181