一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器和一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的制造方法，属于光纤压力传感器技术领域。包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。本发明中材质均为二氧化硅，使得本发明热膨胀系数相同，避免了不同材料高温失配造成的结构失效，温度串扰小，成本低廉；传感头制作工艺只需要熔接、切割和研磨，制作工艺简单；本装置中的共焦法布里‑珀罗腔与现有技术中腐蚀工艺或飞秒激光器制作的法布里‑珀罗腔相比

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107300437 A (43)申请公布日 2017.10.27 (21)申请号 20171