等离子体化学气象沉积反应器的直接指令反步控制方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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等离子体化学气象沉积反应器的直接指令反步控制方法.pdf

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等离子体化学气象沉积反应器的直接指令反步控制方法，涉及非线性控制技术领域，针对现有技术中基于直接指令滤波的等离子体化学气象沉积反应器的跟踪控制方法设计的控制信号存在跟踪误差大的问题，本申请通过基于直接指令滤波构造不确定估计；实现设计反馈控制器，使系统输出能够在小误差范围内跟踪给定目标信号。可以使基于直接指令滤波的等离子体化学气象沉积反应器的跟踪控制方法设计的控制信号u能使系统的跟踪误差收敛到原点附近的小领域内。进而解决了控制信号存在跟踪误差大的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116088393 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310197626.5 (22)申请日 2023.03.03 (71)申请人宁波智能装备研究院有限公司地址