1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

存储器.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约2.56万字
  • 约 25页
  • 2023-05-11 发布于四川
  • 举报

存储器.pdf

    本发明提供了一种存储器，直接利用位线结构界定出若干节点接触窗，由于此时节点接触窗的高度较低，深宽比较小，在节点接触窗中形成第一电性传输层时，对第一电性传输层的形成工艺要求较小；形成第一电性传输层之后再形成间隔图案，相邻的间隔图案之间通过开口间隔，开口至少露出第一电性传输层的部分顶部，形成第二电性传输层于开口中，由于此时开口的高度较低，深宽比较小，在开口中形成第二电性传输层时，对第二电性传输层的形成工艺要求也较小，并且，将第二电性传输层与第一电性传输层电性连接后构成节点接触结构，在此步骤中不会对存

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582872 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210203595.5 (22)申请日 2020.06.24 (62)分案原申请数据 202010590205.5

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >